薄膜压电体元件及其制造方法以及使用该薄膜压电体元件的致动器装置

摘要

本发明主要涉及进行微小位置决定的致动器装置中使用的薄膜压电体元件及其制造方法。用粘合剂层叠用电极膜夹住的2个压电体薄膜，仅选择地去除第二基板，将第一基板上剩余的各种薄膜加工成具有规定形状的分离的多个结构体。之后，覆盖住上述结构体的露出面来形成绝缘膜和外部连接电极部，从而形成多个薄膜压电元件。然后，覆盖住薄膜压电体元件来涂布树脂，与临时固定用基板粘合后，仅选择地去除第一基板，随后，分离临时固定用基板，把该树脂从压电体元件表面去除，分离多个薄膜压电体元件。通过该方法，可批量生产性高且廉价地提供薄膜压电体元件。