薄膜压电体基板、薄膜压电体元件及其制造方法和具有该薄膜压电体元件的磁头折片组合、硬盘装置、喷墨头、可变焦透镜以及传感器

摘要

本发明涉及一种薄膜压电体基板，其能够相对更广范围的外加电压而得到稳定的压电特性，并且能够相对尽可能广范围的外加电压而进行直线性优良的动作。在薄膜压电体基板1中，依次层压了下部电极膜、压电体膜以及上部电极膜的层压膜3形成于硅晶片2的表面1a。压电体膜由通式Pb(Zrx，Ti(1-x))O3表示的锆钛酸铅制成，x满足0.530.02x+0.398。