CuAlS_2:Mn蛍光体薄膜を用いた電流注入型EL素子－ITO, ZnO, ZnS上に作製した薄膜ならびにEL素子特性

摘要

合成石英ガラス基板およびITO膜,ZnO膜,ZnS膜付きガラス基板上に電子線蒸着法によりCuAlS_2:Mn蛍光体薄膜を作製した。ZnS膜上に作製した薄膜は、下地のZnSが成膜中にS補償として働いたことにより結晶性が向上し、PL強度が増加した。一方、ITO膜やZnO膜上に作製した薄膜は、接合界面で相互拡散が発生しているため、PL発光強度が低下した。これらの成果はヘテロ接合電流注入型EL素子の構造を考える際に重要な指針となる。