具有U形隧穿绝缘层的绝缘栅隧穿双极晶体管及制造工艺

摘要

本发明涉及一种具有U形隧穿绝缘层的绝缘栅隧穿双极晶体管，通过U形隧穿绝缘层用于产生栅电极隧穿电流，并利用隧穿绝缘层阻抗与隧穿绝缘层内电场强度之间极为敏感的相互关系，使U形隧穿绝缘层在栅电极极短的电势变化区间内实现高阻态和低阻态之间的转换，对比现有技术可实现更好的开关特性；并通过双极放大明显改善了纳米级绝缘栅晶体管的正向导通特性，本发明还提出具有U形隧穿绝缘层的绝缘栅隧穿双极晶体管的具体制造方法。因此显著改善了纳米级集成电路单元的工作特性，适用于推广应用。