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符号对照表
缩略语对照表
第一章 绪论
1.1 TFET研究背景
1.2国内外研究现状
1.3研究内容和论文结构
第二章 器件模拟方法
2.1 Sentaurus TCAD介绍
2.2器件性能模拟
2.3小结
第三章 Ge基U型栅PTFET
3.1 U型栅Ge PTFET器件结构
3.2 U型栅Ge PTFET电学性能仿真结果分析
3.3 U型栅GeSn/Ge hetero-PTFET仿真结果分析
3.4小结
第四章 SiGeSn/GeSn U型栅 hetero-PTFET
4.1 U型栅 hetero-PTFET器件结构
4.2 U型栅 hetero-PTFET电学性能仿真结果分析
4.3 U型栅hetero-PTFET性能优化
4.4小结
第五章 总结与展望
5.1论文主要工作和结果
5.2工作展望
参考文献
致谢
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