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【6h】

U型栅结构隧穿场效应晶体管电学特性的研究

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第一章 绪论

1.1 TFET研究背景

1.2国内外研究现状

1.3研究内容和论文结构

第二章 器件模拟方法

2.1 Sentaurus TCAD介绍

2.2器件性能模拟

2.3小结

第三章 Ge基U型栅PTFET

3.1 U型栅Ge PTFET器件结构

3.2 U型栅Ge PTFET电学性能仿真结果分析

3.3 U型栅GeSn/Ge hetero-PTFET仿真结果分析

3.4小结

第四章 SiGeSn/GeSn U型栅 hetero-PTFET

4.1 U型栅 hetero-PTFET器件结构

4.2 U型栅 hetero-PTFET电学性能仿真结果分析

4.3 U型栅hetero-PTFET性能优化

4.4小结

第五章 总结与展望

5.1论文主要工作和结果

5.2工作展望

参考文献

致谢

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