公开/公告号CN103649833B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-05-03
原文格式PDF
申请/专利权人 富士胶片株式会社;
申请/专利号CN201280032605.8
申请日2012-06-28
分类号G03F7/095(20060101);G03F7/038(20060101);G03F7/039(20060101);G03F7/32(20060101);H01L21/027(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人牛海军
地址 日本国东京都
入库时间 2022-08-23 09:55:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-05-03
授权
授权
2014-07-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/095 申请日:20120628
实质审查的生效
2014-03-19
公开
公开
机译: 图案形成方法,多层抗蚀剂图案,用于有机溶剂显影的多层膜,抗蚀剂组合物,电子器件的制造方法和电子器件
机译: 图案形成方法,多层抗蚀剂图案,用于有机溶剂显影的多层膜,抗蚀剂组合物,电子器件的制造方法和电子器件
机译: 图案形成方法,多层抗蚀剂图案,用于有机溶剂显影的多层膜,抗蚀剂组合物,电子器件的制造方法和电子器件