公开/公告号US9417528B2
专利类型
公开/公告日2016-08-16
原文格式PDF
申请/专利权人 FUJIFILM CORPORATION;
申请/专利号US201514713215
发明设计人 ATSUSHI NAKAMURA;MICHIHIRO SHIRAKAWA;KAORU IWATO;TADAHIRO ODANI;KEITA KATO;HIDENORI TAKAHASHI;
申请日2015-05-15
分类号G03F7/30;G03F7/095;G03F7/11;H01L21/027;G03F7/039;G03F7/09;G03F7/20;G03F7/32;G03F7/038;G03F7/075;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:32:22