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酚醛抗蚀剂图案的热变形

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在微型图案的小型化过程中,微图案的粘附失效已成为微电子生产中的一大问题.基于此考虑,为提高粘附强度,在200~250℃下对抗蚀剂图案进行处理.然而,在酚醛软化点156℃之上时,就会发生热变形.本实验讨论了影响抗蚀剂微图案的变形因素,重点研究形状对形变度的影响.

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来源
《2004北京国际粘接技术研讨会》|2004年|404-405|共2页
会议地点北京
作者
Akira Kawai; Atsushi Ishikawa;
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作者单位

北京粘接学会;

中国化学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN405.7;
关键词
抗蚀剂; 热变形; 微图案; 粘附强度; 表面能; 电子工业; 酚醛树脂;
入库时间 2022-08-17 11:05:16

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