机译:使用电子束光刻技术,使用环氧酚醛清漆SU-8 2000抗蚀剂产生高分辨率图案
Nanofabrication Facility, University of Alberta, Edmonton, Alberta, T6G 2V4 Canada;
机译:使用NEB-22抗蚀剂通过电子束光刻制造高分辨率的线条和空间图案
机译:染料掺杂的SU-8抗蚀剂通过灰度电子束光刻制造的单模固态分布反馈染料激光器
机译:探索SU-8抗蚀剂对高分辨率电子束构图的高灵敏度
机译:通过电子束光刻在20和30 kV的电子束宽度用亚微米宽度图案化SU-8支柱
机译:聚合物抗蚀剂的电子束感应电导率效应和电子束光刻中的电荷感应电子束偏转模拟。
机译:聚苯乙烯负性抗蚀剂用于高分辨率电子束光刻
机译:聚苯乙烯负性抗蚀剂,用于高分辨率电子束光刻
机译:具有负性有机和无机抗蚀剂的高分辨率电子束光刻