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检测用于射频应用的半导体基板的方法和装置

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本发明涉及一种对用于射频应用的半导体基板(1)进行检测的方法，其特征在于，测量所述基板的作为深度的函数的电阻率分布，并使用所述分布来计算由公式(I)限定的标准：

著录项

公开/公告号CN104204786B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-01

原文格式PDF
申请/专利权人苏泰克公司;
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申请/专利号CN201380005587.9
发明设计人 F·阿利贝尔;
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申请日2013-01-15
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人王英
地址法国贝尔南
入库时间 2022-08-23 09:53:29

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-03-01

授权

授权
2015-02-04

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 27/04 申请日:20130115

实质审查的生效
2014-12-10

公开

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