具有用于功能异常检测的集成式压力传感器的微电子机械系统流体阀

摘要

本发明涉及一种包括泵(1)的泵送设备，包括：‑具有可变容积的泵送室(11)，‑与所述泵送室(11)连通且包括一阀的入口(2)，‑与所述泵送室连通且包括一阀的出口(5)，‑适合改变所述泵送室的容积的致动器，‑流体路径，其包括所述入口(2)、所述泵送室(11)、所述出口(5)和位于所述出口阀下游的下游管路(7)，‑用于测量所述路径的所述阀之间的压力的压力传感器(4)，‑用于处理从所述压力传感器(4)收到的压力数据的处理装置。本发明还覆盖了用于检测如上所述的泵送设备中的功能异常的方法。