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Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop
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1.
1200 Mirror Array Integrated with CMOS for Photonic Switching:Application of Mechanical Leveraging and Torsional Electrostatic ActuationTo Reduce Drive Voltage Requirements and Increase Angular Tilt
机译:
1200镜子阵列与光子切换的CMOS集成:机械杠杆和扭转静电驱动的应用降低了驱动电压要求并增加了角度倾斜
作者:
James H. Smith
;
Steven S. Nasiri
;
Janusz Bryzek
;
Mitch Novack
;
James B. Starr
;
Haesung Kwon
;
Anthony F. Flannery
;
David L. Marx
;
Zhenfang Chen
;
Elaheh Sigari
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
2.
RF MEMS BASED ON EPOXY-CORE CONDUCTORS
机译:
基于环氧树芯导体的RF MEMS
作者:
Yong-Kyu Yoon
;
Jin-Woo Park
;
Mark G. Allen
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
3.
MEMS-Based Flow Controller for Flow Cytometry
机译:
基于MEMS的流式细胞仪的流量控制器
作者:
Eugen Cabuz
;
Jay Schwichtenberg
;
Bob DeMers
;
Ernie Satren
;
Aravind Padmanabhan
;
Cleo Cabuz
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
4.
NANOELECTROMECHANICAL SILICON CARBIDE RESONATORS FOR ULTRA HIGHFREQUENCY APPLICATIONS
机译:
用于超高频应用的纳米机电碳化硅谐振器
作者:
X.M.H. Huang
;
K.L. Ekinci
;
Y.T. Yang
;
C.A. Zorman
;
M. Mehregany
;
M.L. Roukes
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
5.
GaAs-BASED WAVEGUIDE MOEMS
机译:
基于GaAs的波导Moems
作者:
O. Blum Spahn
;
T. Bakke
;
C. P. Tigges
;
J. Johnson
;
G. Grossetete
;
F. R. Gass
;
E. M. Ochoa
;
J. L. Reno
;
J.F. Klem
;
G.M. Peake
;
C. T. Sullivan
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
6.
A MINIATURIZED MICROBIAL FUEL CELL
机译:
小型微生物燃料电池
作者:
Mu Chiao
;
Kien B. Lam
;
Yu-Chuan Su
;
Liwei Lin
;
Berkeley Sensor
;
Actuator Center
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
7.
SELF-ASSEMBLED OUT-OF-PLANE HIGH Q INDUCTORS:
机译:
自组装外平面高Q电感器:
作者:
Christopher L. Chua
;
David K. Fork
;
Koenraad Van Schuylenbergh
;
Jeng-Ping Lu
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
8.
HIGH VOLTAGE LIMITS FOR ELECTROSTATIC TRANSDUCERS:ON THE ROLE OF AMBIENT PRESSURE AND DEVICE DIMENSION IN MICRODISCHARGES
机译:
静电传感器的高压限值:关于微水机械压力和器件尺寸的作用
作者:
Chester G. Wilson
;
Amy E. Wendt
;
Yogesh B. Gianchandani
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
9.
MEMS AND Si MICROMACHINING FOR HIGH FREQUENCY APPLICATIONS
机译:
用于高频应用的MEMS和SI微机器
作者:
Linda P.B. Katehi
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
10.
LIQUID PHASE CONSTRUCTION OF MICROSTRUCTURES
机译:
微观结构的液相构建
作者:
Joseph M. Bauer
;
Taher A. Saif
;
David J. Beebe
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
11.
VERTICAL MICROLENS SCANNER FOR 3D IMAGING
机译:
3D成像的垂直微透镜扫描仪
作者:
Sunghoon Kwon
;
Veljko Milanovic
;
Luke P. Lee
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
12.
JPL’s MEMS Gyroscope Fabrication,8-Electrode Tuning, and Performance Results
机译:
JPL的MEMS陀螺仪制造,8电极调谐和性能结果
作者:
Sam Y. Bae
;
Ken J. Hayworth
;
Kirill V. Shcheglov
;
Karl Y. Yee
;
Dean V. Wiberg.
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
13.
A MICROMACHINED HYDROGEL-GATED SMART FLOW CONTROLLER
机译:
微机械式水凝胶门控智能流量控制器
作者:
Yuandong Gu
;
Antonio Baldi
;
Babak Ziaie
;
Ronald A. Siegel
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
14.
A WATER-POWERED MICRO DRUG DELIVERY SYSTEM
机译:
水源微药物输送系统
作者:
Yu-Chuan Su
;
Liwei Lin
;
Albert P. Pisano
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
15.
A LOW TEMPERATURE BI-CMOS COMPATIBLE PROCESS FORMEMS RF RESONATORS AND FILTERS
机译:
低温Bi-CMOS兼容过程型式RF谐振器和过滤器
作者:
Jennifer L. Lund
;
Christopher V. Jahnes
;
Hariklia Deligianni
;
L. Paivikki Buchwalter
;
John M. Cotte
;
Panayotis Andricacos
;
David E. Seeger
;
John H. Magerlein
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
16.
A NOVEL MEMS TUNABLE CAPACITOR BASED ONANGULAR VERTICAL COMB DRIVE ACTUATORS
机译:
基于新型MEMS可调电容器的洋地垂直梳驱动致动器
作者:
Hung Nguyen
;
Dooyoung Hah
;
Pamela R. Patterson
;
Wibool Piywattanametha
;
Ming C. Wu
;
Rumin Chao
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
17.
OPTICAL ACTUATION OF MICROFLUIDICSBASED ON OPTO-ELECTROWETTING
机译:
光学扫描对微流体的光学致动
作者:
Pei Yu Chiou
;
Ming C. Wu
;
Hyejin Moon
;
Chang-Jin Kim
;
Hiroshi Toshiyoshi
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
18.
DESIGN, FABRICATION AND TESTING OF THE P3 MICRO HEAT ENGINE
机译:
P3微热发动机的设计,制造和测试
作者:
J. Skinner
;
M. Thompson
;
S. Whalen
;
R. F. Richards
;
D. F. Bahr
;
C.D. Richards
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
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2002年
19.
EWOD Driving of Droplet on NxM Grid Using Single-Layer Electrode Patterns
机译:
使用单层电极图案在NXM网格上驾驶液滴驱动
作者:
Shih-Kang Fan
;
Peter-Patrick de Guzman
;
Chang-Jin CJ Kim
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
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2002年
20.
AN INTEGRATED SURFACE MICROMACHINED CAPACITIVE LATERALACCELEROMETER WITH 2μG/√Hz RESOLUTION
机译:
具有2μg/√Hz分辨率的集成表面微机电容左侧仪
作者:
Xuesong Jiang
;
Feiyue Wang
;
Michael Kraft
;
Bernhard E. Boser
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
21.
LARGE-AREA ELECTROSTATIC-VALVED SKINS FOR ADAPTIVEFLOW CONTROL ON ORNITHOPTER WINGS
机译:
用于适应性流动控制的大面积静电阀杆上的鸟类翅膀
作者:
Matthieu Liger
;
Nick Pornsin-Sirirak
;
Yu-Chong Tai
;
Steve Ho
;
Chih-Ming Ho
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
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2002年
22.
FLUID DAMPING OF AN ELECTROSTATIC ACTUATOR FOROPTICAL SWITCHING APPLICATIONS
机译:
静电致动器的流体阻尼电视开关应用
作者:
Kevin Y. Yasumura
;
John D. Grade
;
Hal Jerman
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
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2002年
23.
WAFER LEVEL ANTI-STICTION COATINGSWITH SUPERIOR THERMAL STABILITY
机译:
晶圆液体防斜涂层,卓越的热稳定性
作者:
W. R. Ashurst
;
C. Carraro
;
R. Maboudian
;
W. Frey
会议名称:
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2002年
24.
An Immunoassay Platform Based on CMOS Hall Sensors
机译:
基于CMOS Hall传感器的免疫分析平台
作者:
Turgut Aytur
;
P. Robert Beatty
;
Bernhard Boser
;
Mekhail Anwar
;
Tomohiro Ishikawa
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
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2002年
25.
DEVELOPMENT OF ARTIFICIAL LATERAL-LINE FLOW SENSORS
机译:
人工横向流动传感器的发展
作者:
Zhifang Fan
;
Jack.Chen
;
Jun Zou
;
Junjun Li
;
Chang Liu
;
Fred Delcomyn
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
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2002年
26.
A MECHANICALLY-BALANCED, DRIE ROTARY ACTUATORFOR A HIGH-POWER TUNABLE LASER
机译:
用于高功率可调激光器的机械平衡的DRIE旋转致动器
作者:
Hal Jerman
;
John D. Grade
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
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2002年
27.
A HIGH-POWER MEMS ELECTRIC INDUCTION MOTOR
机译:
高功率MEMS电气感应电动机
作者:
Carol Livermore
;
Anthony Forte
;
Theodore Lyszczarz
;
Stephen D. Umans
;
Jeffrey H. Lang
会议名称:
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2002年
28.
OPTICAL FIBER TIP FABRICATEDBY SURFACE TENSION CONTROLLED ETCHING
机译:
光纤尖端制造的表面张力控制蚀刻
作者:
Pak Kin Wong
;
Tza-Huei Wang
;
Chih-Ming Ho
会议名称:
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|
2002年
29.
PRECISION FABRICATION OF HIGH-SPEED MICRO-ROTORSUSING DEEP REACTIVE ION ETCHING (DRIE)
机译:
精密制造高速微转子深反应离子蚀刻(Drie)
作者:
Norihisa MikiMiki
;
Chiang Juay Teo
;
Linhvu Ho
;
Xin Zhang
会议名称:
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2002年
30.
IMPROVEMENT OF DNA MICROARRAY BIOCHIPSUSING MICROFLUIDIC MIXING TECHNIQUE
机译:
DNA微阵列Biochipsing Microf流体混合技术的改进
作者:
Robin H. Liu
;
Ralf Lenigk
;
Dale Ganser
;
Justin Bonanno
;
Piotr Grodzinski
;
Bobbi Sanchez
;
Pankaj Singhal
;
Steve Dai
会议名称:
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|
2002年
31.
HIGH-TEMPERATURE MICROCOMBUSTION-BASED AMMONIAMICROCHEMICAL HYDROGEN GENERATOR REACTORSFOR PEM FUEL CELLS
机译:
基于高温微可泡的氨胺基化氢发电机反应器,用于PEM燃料电池
作者:
Mark A. Shannon
;
Gabriel V. Moore
;
Jason Ganley
;
Craig Miesse
;
Cynthia Rice
;
Edmund G. Seebauer
;
Richard I. Masel
会议名称:
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|
2002年
32.
MICROMIRROR ARRAY PHASE MODULATORFOR ULTRASHORT OPTICAL PULSE SHAPING
机译:
微镜阵列相位调制器为超短光脉冲整形
作者:
Kebin Li
;
Uma Krishnamoorthy
;
Jonathan P. Heritage
;
Olav Solgaard
会议名称:
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|
2002年
33.
INTERFACE THERMAL CONDUCTANCE FOR MICROACTUATED DEVICES
机译:
微动装置的接口导热率
作者:
Woo-Bin Song
;
Joseph J. Talghader
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
34.
ANALOG TUNABLE GRATINGS WITH NANOMETER RESOLUTION
机译:
具有纳米分辨率的模拟可调光栅
作者:
Chee Wei Wong
;
Wei-Chuan Shih
;
Yong Bae Jeon
;
Salil Desai
;
Dennis Freeman
;
Sang-Gook Kim
;
George Barbastathis
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
35.
MICROSCALE ELECTROLYTIC PROBES, WITH INTEGRATEDTEMPERATURE SENSORS, FOR NANO- TO MICRO-LITER FLUID VOLUMES
机译:
微观电解探针,具有集成式体传感器,用于纳米至微升流体体积
作者:
Dongming He
;
Mark A. Shannon
会议名称:
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|
2002年
36.
A MICROBUBBLE-POWERED BIOPARTICLE ACTUATOR
机译:
微泡功率的生物粒子致动器
作者:
Rebecca A. Braff
;
Antimony L. Gerhardt
;
Martin A. Schmidt
;
Martha L. Gray
;
Mehmet Toner
会议名称:
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2002年
37.
A PASSIVE-TELEMETRY-BASED PRESSURE SENSING SYSTEM
机译:
基于无源遥测的压力传感系统
作者:
Andrew DeHennis
;
Kensall D. Wise
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
38.
A LOW-VOLTAGE TILTABLE MICROPLATFORM USING BENT-BEAM ACTUATION
机译:
使用弯曲梁致动的低压倾斜微量模型
作者:
Yuan Xie
;
Clark T.-C. Nguyen
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
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2002年
关键词:
MOEMS;
artificial vision;
tilt angle;
low voltage;
39.
CHEMICAL AND BIOLOGICAL DIAGNOSTICS USING FULLY INSULATEDULTRACOMPLIANT THERMAL PROBES
机译:
使用完全无限制的热探针的化学和生物诊断
作者:
M.-H. Li
;
J.-H. Lee
;
F. Cerrina
;
A.K. Menon
;
Y. B. Gianchandani
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
40.
CLOSED-LOOP CONTROL OF A PARALLEL-PLATE MICROACTUATOR BEYONDTHE PULL-IN LIMIT
机译:
平行板微偶联器的闭环控制超出下拉限制
作者:
Michael S.-C. Lu
;
Gary K. Fedder
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
41.
A ROBUST GOLD-SILICON EUTECTIC WAFER BONDING TECHNOLOGYFOR VACUUM PACKAGING
机译:
一种用于真空包装的鲁棒金 - 硅共晶晶片键合技术
作者:
Yuhai Mei
;
G.Roientan Lahiji
;
Khalil Najafi
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
42.
INTEGRATION OF 'ON-CHIP' ELECTROCHEMICAL DETECTION IN AMICROFABRICATED CAPILLARY ELECTROPHORESIS DEVICE
机译:
在AmiCrofabricated毛细管电泳装置中的“片上”电化学检测的整合
作者:
Thomas J. Roussel
;
Robert S. Keynton
;
Mark M. Crain
;
Vijay Bathlagundu
;
Douglas J. Jackson
;
John A. Conklin
;
Rekha Pai
;
John F. Naber
;
Kevin M. Walsh
;
Jayadeep Gullapalli
;
Richard P. Baldwin
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
43.
ELECTRICAL THROUGH WAFER INTERCONNECTS WITH 0.05 PICO FARADSPARASITIC CAPACITANCE ON 400 μM THICK SILICON SUBSTRATE
机译:
电气通过晶片互连,在400μm厚的硅衬底上具有0.05微微法拉塞肌电容
作者:
Ching H. Cheng
;
Arif S. Ergun
;
Butrus T. Khuri-Yakub
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
44.
A NOVEL MICROMACHINED GLOW PLUGFOR ULTRAHIGH TEMPERATURE IGNITION APPLICATIONS
机译:
一种新型微机械焕发电涂器超高温度点火应用
作者:
Li-Anne Liew
;
Victor M. Bright
;
Rishi Raj
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
45.
MEASUREMENT OF CHANGES IN TISSUE METABOLISM USING A CLARK-TYPEOXYGEN SENSOR
机译:
使用克拉克型毒素传感器测量组织代谢的变化
作者:
Benjamin Franc
;
Nathalia Peixoto
;
Laurent Giovangrandi
;
Glen McLaughlin
;
Gregory T.A. Kovacs
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
46.
HIGH-FREQUENCY ACTUATION WITH SILICON ELECTROOSMOTIC MICROPUMPS
机译:
用硅电软渗透微型泵的高频驱动
作者:
Daniel J. Laser
;
Kenneth E. Goodson
;
Juan G. Santiago
;
Thomas W. Kenny
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
47.
HYDRAULIC AMPLIFICATION DEVICESFOR MICROSCALE ACTUATION
机译:
微型驱动的液压放大器件
作者:
J.L. Steyn
;
H.Q. Li
;
D.C. Roberts
;
K.T. Turner
;
O. Yaglioglu
;
Y.-H. Su
;
M.A. Schmidt
;
S.M. Spearing
;
W. Hagood
;
R. Mlcak
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
48.
A NEW APPROACH FOR DISPERSION CONTROL IN NANOFLUIDIC CHANNELS
机译:
纳米流体通道中分散控制的一种新方法
作者:
R. Qiao
;
N. R. Aluru
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
49.
THEORY, EXPERIMENTAL REALIZATION, AND PROPERTIES OF MINIATURE BRAGGFIBERS
机译:
理论,实验性实现和微型布拉格比的特性
作者:
J.G.Fleming
;
Shawn-Yu Lin
;
Ronald Hadley
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
50.
ANGULAR RATE GYROSCOPE WITH DUAL ANCHOR SUPPORT
机译:
有双锚支撑的角速率陀螺仪
作者:
Gary J. O’Brien
;
David J. Monk
;
Khalil Najafi
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
51.
Integrated Microsystems for Microfluidics/BioMEMS: Cellular Sample Handling andAnalysis
机译:
用于微流体/生物磁点的集成微系统:细胞样品处理和分析
作者:
Murat Okandan
;
Paul Galambos
;
Seethambal S. Mani
;
David Salas
;
Gil Benavides
;
Harold Stewart
;
David Sandison
;
Jay Jakubczak
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
52.
LOW-VOLTAGE HIGH-SPEED ULTRASONIC CHROMATOGRAPHY FOR MICROFLUIDIC ASSAYS
机译:
低压高速超声色谱法用于微流体测定
作者:
Chung-Hoon Lee
;
Amit Lal
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
53.
PARALLEL-PLATE DRIVEN OSCILLATIONS AND RESONANT PULL-IN
机译:
平行板驱动振荡和谐振拉入
作者:
Joseph I. Seeger
;
Bernhard E. Boser
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
54.
POLY-SIGE: A HIGH-Q STRUCTURAL MATERIAL FOR INTEGRATED RF MEMS
机译:
Poly-SiGe:用于集成RF MEMS的高Q结构材料
作者:
Sunil A. Bhave
;
Brian L. Bircumshaw
;
Wing Zin Low
;
Yong-Sang Kim
;
Albert P. Pisano
;
Tsu-Jae King
;
Roger T. Howe
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
55.
IC-Integrated Flexible Shear-Stress Sensor Skin
机译:
IC集成柔性剪切应力传感器皮肤
作者:
Yong Xu
;
Yu-Chong Tai
;
Adam Huang
;
Chih-Ming Ho
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
56.
A 5V CLOSED-LOOP SECOND-ORDER SIGMA-DELTAMICRO-G MICROACCELEROMETER
机译:
一个5V闭环二阶Sigma-ΔICro-G微基卡仪
作者:
Haluk Kulah
;
Arvind Salian
;
Navid Yazdi
;
Khalil Najafi
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
57.
MEMS MICRO-MECHANICAL LOGIC GATES FOR MECHANICAL COMPUTINGIN MACHINE ONLY ENVIRONMENTS
机译:
MEMS用于机械计算机器的微机械逻辑门仅限环境
作者:
Paul E. Kladitis
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
58.
DERMAL THERMO-PORATION WITH A PDMS-BASED PATCHFOR TRANSDERMAL BIOMOLECULAR DETECTION
机译:
具有基于PDMS的蛋白质分子检测的皮肤热学性能
作者:
M. Paranjape
;
J. Garra
;
S. Brida
;
T. Schneider
;
R. White
;
J. Currie
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
59.
Batch Fabricated Inline Microfluidic Valve
机译:
批料制造的内联微流体阀
作者:
P. Selvaganapathy
;
E. T. Carlen
;
C. H. Mastrangelo
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
60.
FINE ZNO PATTERNING WITH CONTROLLED SIDEWALL-ETCH-FRONT SLOPE
机译:
精细ZnO图案,采用受控侧壁 - 蚀刻前斜面
作者:
Jae Wan Kwon
;
Eun Sok Kim
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
61.
MICROMACHINED VARIABLE CAPACITOR WITH WIDE TUNING RANGE
机译:
微机械导线可变电容,具有宽调谐范围
作者:
Zhixiong Xiao
;
Wuyong Peng
;
R. F. Wolffenbuttel
;
K. R. Farmer
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
62.
INFRARED DIAGNOSTICS FOR MEASURING FLUID AND SOLIDMOTION INSIDE MEMS
机译:
用于测量MEME内部的液体和实体运动的红外诊断
作者:
Gengxin Han
;
James C. Bird
;
K. Johan A. Westin
;
Kenneth S. Breuer
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
63.
A HIGH TUNING-RATIO SILICON-MICROMACHINED VARIABLECAPACITOR WITH LOW DRIVING VOLTAGE
机译:
具有低驱动电压的高调谐比硅微机械型VariaBlEcapacitor
作者:
Zhihong Li
;
Norman C. Tien
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
64.
AN ELECTROSTATIC, ON/OFF MEMS VALVE FORGAS FUEL DELIVERY OF A MICROENGINE
机译:
静电,开/关MEMS阀FARFAS燃料输送微发炎
作者:
Xue’en Yang
;
Alexander H?lke
;
Martin Schmidt
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
65.
MICROMACHINED MAGNETICALLY RECONFIGURABLEFREQUENCY-SELECTABLE SURFACES
机译:
微机械磁性可重新配置频率可选择的表面
作者:
Joe ZendejasZendejas
;
John Gianvittorio
;
Bongyoung Yoo
;
Yahya Rahmat-Samii
;
Ken Nobe
;
Jack W. Judy
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
66.
A BAROMETRIC PRESSURE SENSOR WITHINTEGRATED REFERENCE PRESSURE CONTROL USING LOCALIZED CVD
机译:
使用局部CVD的气压传感器用沉淀的参考压力控制
作者:
Patty P. L. Chang-Chien
;
Kensall D. Wise
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
关键词:
Hermetic Packaging;
Pressure Sensor;
Vacuum Control;
localized CVD;
67.
HIGH-RESOLUTION ELECTROMETER WITH MICROMECHANICAL VARIABLECAPACITOR
机译:
带有微机械静脉曲张的高分辨率电镜
作者:
Patrick S. Riehl
;
Karen L. Scott
;
Richard S. Muller
;
Roger T. Howe
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
68.
ELECTROCHEMICAL MICROSENSORS FOR DNA MUTATION DETECTION
机译:
用于DNA突变检测的电化学纵向
作者:
Xing Yang
;
Chunnian Shi
;
R. Erik Holmlin
;
Shana O. Kelley
;
Michael G. Hill
;
Donald M. Crothers
;
Jacqueline K. Barton
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
69.
DESIGN, FABRICATION AND TESTING OF A MEMS SYRINGE
机译:
MEMS注射器的设计,制造和测试
作者:
Boris Stoeber
;
Dorian Liepmann
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
70.
Large Area Microfluidic MixerIntegrated with Linear Fluidic Transporters and Reservoirs
机译:
大面积微流体混合用线性流体运输车和储层
作者:
Hongyu Yu
;
Eun Sok Kim
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
71.
LOW VOLTAGE MEMS ANALOG MICROMIRROR ARRAYSWITH HIDDEN VERTICAL COMB-DRIVE ACTUATORS
机译:
低压MEMS模拟微镜Arraystwith隐藏式垂直梳驱动致动器
作者:
Dooyoung Hah
;
Sophia Huang
;
Hung Nguyen
;
Hsin Chang
;
Jui-Che Tsai
;
Ming C. Wu
;
Hiroshi Toshiyoshi
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
72.
Polymer based Actuator for nozzle-diffuser Pumps inPlastic Microfluidic Systems
机译:
用于喷嘴漫射器泵的基于聚合物的致动器不塑性微流体系统
作者:
P. Sethu
;
C. H. Mastrangelo
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
73.
MICROMACHINED JET ARRAYSFOR LIQUID IMPINGEMENT COOLING OF VLSI CHIPS
机译:
Microcachined Jet Arraysfor液体冲击的VLSI芯片冷却
作者:
Evelyn N. Wang
;
Lian Zhang
;
Linan Jiang
;
Jae-Mo Koo
;
Kenneth E. Goodson
;
Thomas W. Kenny
;
James G. Maveety
;
Eduardo A. Sanchez
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
74.
A SEPARATOR-ANALYZER FLOWMETER FOR COMPLEX LIQUIDS INMICROFLUIDIC SYSTEMS
机译:
用于复合液体的分离器分析仪流量计Inmicrofrofroficrofics系统
作者:
Shramik Sengupta
;
Babak Ziaie
;
Victor H Barocas
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
75.
Single-Crystal Silicon HARPSS Capacitive Resonators with Submicron Gap-Spacing
机译:
单晶硅用亚微米间隙间距竖立电容谐振器
作者:
Seong Yoel No
;
Akinori Hashimura
;
Siavash Pourkamali
;
Farrokh Ayazi
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
76.
FLOW-THROUGH MICRO-ELECTROPORATION CHIP FOR GENETICENGINEERING OF INDIVIDUAL CELLS
机译:
流通微电穿孔芯片用于个体细胞的凝聚性
作者:
Yong Huang
;
Boris Rubinsky
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
77.
A 0.8μm CMOS INTEGRATED SURFACE MICROMACHINED CAPACITIVE PRESSURESENSOR WITH EEPROM TRIMMING AND DIGITAL OUTPUT FOR A TIRE PRESSUREMONITORING SYSTEM
机译:
具有EEPROM压缩和轮胎压力机系统的EEPROM修边和数字输出的0.8μmCMOS集成表面微机动压敏仪
作者:
B.P. Gogoi
;
S. Jo
;
R. August
;
A. McNeil
;
M. Fuhrmann
;
J. Torres
;
T. F. Miller
;
A. Reodique
;
M. Shaw
;
K. Neumann
;
D. Hughes Jr.
;
D. J. Monk
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
78.
MULTIELECTRODE MICROPROBES FOR DEEP-BRAIN STIMULATIONFABRICATED USING A NOVEL 3-D SHAPING ELECTROPLATING PROCESS
机译:
使用新型3-D塑形电镀工艺进行深脑刺激的多电极微生物
作者:
Paulo S. Motta
;
Jack W. Judy
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
79.
MICRO-POWER WIRELESS TRANSMITTER WITH PRINTED BATTERY FORMEMS SENSING AND COMMUNICATION APPLICATIONS
机译:
带印刷电池式的微型无线发射器感应和通信应用
作者:
Michael Suster
;
Darrin J. Young
;
Wen H. Ko
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
80.
NANOSCALE GAP FABRICATION AND INTEGRATION OF CARBON NANOTUBESBY MICROMACHINING
机译:
纳米级间隙制造与碳纳米管上的整合微机械
作者:
Jaehyun Chung
;
Junghoon Lee
;
Rodney S. Ruoff
;
Wing Kam Liu
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
81.
NEW PLASTIC MICROINJECTION MOLDING TECHNIQUE FOR EXTREMELYTALL PLASTIC MICROSTRUCTURES USING REMOTE INFRARED RADIATIONHEATING METHOD
机译:
使用远程红外线辐射热法测定塑料微观结构的新型塑料显微注射技术
作者:
Sanghyo Kim
;
Ramachandran Trichur
;
Gregory Beaucage
;
Chong H. Ahn
;
Byung H. Kim
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
82.
MEASUREMENT SYSTEM FOR LOW FORCEAND SMALL DISPLACEMENT CONTACTS
机译:
低刮屑小型位移触点的测量系统
作者:
Beth L. Pruitt
;
Woo-Tae Park
;
Thomas W. Kenny
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
83.
SELECTIVE AND LOCALIZED BONDING USING INDUCTION HEATING
机译:
使用感应加热选择性和局部粘接
作者:
Andrew Cao
;
Mu Chiao
;
Liwei Lin
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
84.
A DISPOSABLE CAPILLARY MICROPUMP USING FROZEN WATERAS SACRIFICIAL LAYER
机译:
使用冷冻水祭层的一次性毛细管微泵
作者:
Li-Wei Pan
;
Yu-Chuan Su
;
Sha Li
;
Liwei Lin
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
85.
A WAFER-LEVEL VACUUM PACKAGING PROCESS BY RTPALUMINUM-TO-NITRIDE BONDING
机译:
通过Rtpaluminum-氮化物键合的晶片级真空包装工艺
作者:
Mu Chiao
;
Liwei Lin
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
86.
ACTIVE SOI-BASED NEURAL PROBES
机译:
基于活跃的SOI的神经探针
作者:
Matthew D. Hills
;
David T. Kewley
;
James M. Bower
;
Gregory T. A. Kovacs
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
87.
QUALITY FACTOR ENHANCEMENT OF IN SITU ANNEALLNG CANTLLEVERS
机译:
质量因素提升原位AnneAllng汉堡包
作者:
A.Tewary
;
K.Y.Yasumura
;
T.D.Stowe
;
T.W.Kenny
;
D.Rugar
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
88.
Robot Leg Motion in a Planarized-SOI, 2 Poly Process
机译:
平面化 - SOI,2多过程中的机器人腿运动
作者:
Seth Hollar
;
Anita Flynn
;
Sarah Bergbreiter
;
K.S.J.Pister
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
89.
MICROCANTILEVERS FOR THERMAL NANOIMAGING ANDTHERMOMECHANICAL SURFACE MODIFICATION
机译:
用于热纳米型纳米瘤和热机械表面改性的微电子
作者:
William P. King
;
Thomas W. Kenny
;
Kenneth E. Goodson
;
Michel Despont
;
Urs Duerig
;
Mark Lantz
;
Hugo Rothuizen
;
Gerd Binnig
;
Peter Vettiger
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
90.
CAPILLARY ARRAY ELECTROPHORESIS BIOPROCESSORS
机译:
毛细管阵列电泳生物处理器
作者:
Richard A. Mathies
;
Eric T. Lagally
;
Toshihiro Kamei
;
William H. Grover
;
Chung N. Liu
;
James R. Scherer
;
Robert A. Street
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
91.
OPTICAL MEMS DESIGN FOR TELECOMMUNICATIONS APPLICATIONS
机译:
电信应用的光学模型设计
作者:
Vladimir A. Aksyuk
;
Maria E. Simon
;
Flavio Pardo
;
Susanne Arney
;
Daniel Lopez
;
Anita Villanueva
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
92.
A MICROFABRICATED ELECTROCHEMICAL OXYGEN GENERATOR FORHIGH-DENSITY CELL CULTURE ARRAYS
机译:
用于高密度细胞培养阵列的微制造电化学氧气发生器
作者:
Michel M. Maharbiz
;
William J. Holtz
;
Sahar Sharifzadeh
;
Jay D. Keasling
;
Roger T. Howe
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
93.
THERMOELASTICALLY ACTUATED ACOUSTIC PROXIMITY SENSOR WITHINTEGRATED THROUGH-WAFER INTERCONNECTS
机译:
热气相致动声学接近传感器,其具有晶片互连
作者:
Venkataraman Chandrasekaran
;
Eugene M. Chow
;
Thomas W. Kenny
;
Toshikazu Nishida
;
Louis N. Cattafesta
;
Bhavani V. Sankar
;
Mark Sheplak
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
94.
MICROMECHANICAL FORCE SENSING WITH APPLICATIONS IN BIOLOGY
机译:
与生物学应用的微机械力传感
作者:
Thomas W. Kenny
;
Yiching Liang
;
Su-Wen Ueng
;
Michael Bartsch
;
Robert Rudnitsky
会议名称:
《Solid-state sensor, actuator, and microsystems workshop》
|
2002年
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