一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备和检测方法

摘要

一种针对密集布线的阵列基板的线路检测设备，所述的线路检测设备包括生成用于阵列基板线路情况的检测信号的信号发生装置和用于接收所述检测信号并进行处理的信号接收装置；所述的检测设备还包括用于控制信号发生装置、信号接收装置任意一个或两个在与阵列基板平行的平面上沿垂直于阵列基板的栅线方向移动的控制装置。本发明提高了线路检测的准确性。