公开/公告号CN103676491B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-12-28
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201210353546.6
申请日2012-09-20
分类号G03F7/20(20060101);G03F1/20(20120101);H01L21/027(20060101);
代理机构11345 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人陈红
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3#
入库时间 2022-08-23 09:50:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-28
授权
授权
2015-06-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20120920
实质审查的生效
2014-03-26
公开
公开
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