一种基于定量确定最长候检时间的氦质谱细检漏方法

摘要

本发明公开了一种基于定量确定最长候检时间的氦质谱细检漏方法，给出了在密封性氦质谱检测过程中定量确定细检漏最长候检时间的方法，并以合格密封电子元器件的最小氦气交换时间常数——严密等级τ_Hemin作为氦质谱细检漏的基本判据，给出了确定测量漏率判据的方法。基于以上提出的定量确定最长候检时间方法，如摘要附图所示，对大部分内腔容积范围，准确确定的最长候检时间可远远长于国内外现行相关标准定性确定的1小时或0.5小时，为降低密封件表面吸附氦漏率、控制氦质谱检漏仪本底和实施批量检测，创造了关键的候检时间条件，从而扩展了适用内腔容积范围，加严了判据范围，以不同的严密等级τ_Hemin和可靠贮存寿命，给出了更具有可操作性的压氦法和预充氦法氦质谱细检漏方法。