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公开/公告号CN103633010B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-12-21
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201210310581.X
发明设计人 张苗;陈达;狄增峰;薛忠营;卞剑涛;王刚;
申请日2012-08-28
分类号H01L21/762(20060101);H01L21/20(20060101);H01L21/304(20060101);
代理机构31219 上海光华专利事务所;
代理人李仪萍
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:50:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-21
授权
2014-04-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/762 申请日:20120828
实质审查的生效
2014-03-12
公开
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