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树脂膜片成型方法和使用所述方法的树脂膜片成型设备

摘要

当树脂膜片成型区域的长度LD等于基胶片上扣齿孔间距的3倍时,树脂涂敷过程将由6个喷嘴执行,当树脂膜片成型区域的长度LD等于基胶片上扣齿孔间距的6倍时,树脂涂敷过程将由3个喷嘴执行。其结果是,基胶片在单个树脂涂敷过程中被输送的距离等于扣齿孔间距的18倍。因此,即使树脂膜片成型区域的长度LD不同,也有可能将基胶片通过干燥部分的时间设置为恒定值。

著录项

  • 公开/公告号CN1230883C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2005-12-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN00137113.4

  • 发明设计人 荻田克也;

    申请日2000-12-28

  • 分类号H01L21/56;B05D1/02;B05C5/00;

  • 代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人刘兴鹏

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 08:58:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-02-18

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/56 授权公告日:20051207 终止日期:20131228 申请日:20001228

    专利权的终止

  • 2012-04-11

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/56 变更前: 变更后: 变更前:

    专利申请权、专利权的转移

  • 2005-12-07

    授权

    授权

  • 2002-10-09

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2001-07-04

    公开

    公开

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