法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-14
授权
授权
2014-09-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20120509
实质审查的生效
2014-05-21
专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/66 变更前: 变更后: 登记生效日:20140425 申请日:20120509
专利申请权、专利权的转移
2012-08-15
公开
公开
机译: 从晶圆保持部件中跳出的方法,晶圆中的部分裂纹的检测方法,在CMP装置中晶圆中的跳出的方法,CMP装置中晶圆中的部分裂纹的检测方法以及在晶圆中的部分跳动的检测方法脱离晶圆生产商
机译: 可确保晶圆之间统一的清洁质量的晶圆清洁设备以及使用该晶圆清洁方法的晶圆清洁方法
机译: 晶圆传送装置,晶圆传送装置的晶圆座检测方法以及抛光单元