法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2005-07-20
授权
授权
2003-05-28
实质审查的生效
实质审查的生效
2002-12-18
公开
公开
机译: 微电子机械系统传感器中使用的质量和使用相同的三维微电子机械系统传感器中的质量
机译: 微电子机械系统元件的制造方法及微电子机械系统元件的制造方法
机译: 用于耦合电路的两点的连接装置包括第二微电子机械系统(MEMS)继电器,该第二微电子机械系统(MEMS)继电器可以串联或并联连接至第一MEMS继电器,或者可以连接至第一MEMS继电器的电容器板。