一种金刚石和碳化硅纳米混相复合薄膜的制备方法

摘要

一种金刚石和碳化硅纳米混相复合薄膜的制备方法，其特征在于：以H₂、甲烷或四甲基硅烷或其混合物的气体为原料，其中H∶C∶Si＝1∶0.005～0.1∶0.005～0.02，采用化学气相沉积过程制备金刚石/碳化硅纳米混相复合薄膜；在沉积过程中，通过调节气体的化学组分，形成金刚石和碳化硅纳米混相沿深度梯度变化的复合薄膜。本发明可以有效地解决金刚石薄膜与金属基体间的结合问题，从而使得金刚石薄膜在工业中的应用成为可能。