公开/公告号CN104264129B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-09-28
原文格式PDF
申请/专利权人 佛山市中山大学研究院;
申请/专利号CN201410558174.X
申请日2014-10-20
分类号C23C16/455(20060101);C23C16/18(20060101);
代理机构44302 广州圣理华知识产权代理有限公司;
代理人顿海舟;陈业胜
地址 528222 广东省佛山市南海区南海软件园信息大道崇贤楼A栋三层
入库时间 2022-08-23 09:47:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-09-28
授权
授权
2015-02-04
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20141020
实质审查的生效
2015-01-07
公开
公开
机译: 利用基座组件的MOCVD MOCVD MOCVD设备和从上部拾取同一基座的控制方法
机译: MOCVD反应器喷头,MOCVD反应器,MOCVD设备及清洗方法
机译: 基座布置,MOCVD装置包括这一点,以及从MOCVD设备卸载上部基座的控制程序