公开/公告号CN103779189B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-09-07
原文格式PDF
申请/专利权人 格罗方德半导体公司;
申请/专利号CN201310503201.9
发明设计人 A·拉特波夫;
申请日2013-10-23
分类号
代理机构北京戈程知识产权代理有限公司;
代理人程伟
地址 英属开曼群岛大开曼岛
入库时间 2022-08-23 09:47:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-09-07
授权
授权
2014-06-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20131023
实质审查的生效
2014-05-07
公开
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机译: 定向自组装引导图案的光学邻近校正
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