一种用于晶圆干燥的雾化装置及晶圆干燥设备

摘要

本实用新型提供了一种用于晶圆干燥的雾化装置及晶圆干燥设备，该雾化装置包括：第一接口，用于通入携带有液态除水介质的常温气体；第二接口，用于通入高温气体；雾化腔室，分别连接所述第一接口与所述第二接口，用于混合所述高温气体和所述液态除水介质，以将所述液态除水介质蒸发为气态除水介质；第三接口，与所述雾化腔室连接，用于释放所述气态除水介质。本实用新型的用于晶圆干燥的雾化装置，能够在雾化腔室内将高温气体与液态除水介质进行混合，以将液态除水介质蒸发为气态除水介质，进而改善除水介质的雾化效果。