公开/公告号CN101065827B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-31
原文格式PDF
申请/专利权人 阿德文泰克全球有限公司;
申请/专利号CN200580040111.4
发明设计人 杰弗里·W·康拉德;
申请日2005-11-22
分类号
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人陈源
地址 英属维尔京群岛托托拉岛
入库时间 2022-08-23 09:45:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-31
授权
授权
2008-01-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-10-31
公开
公开
机译: 具有多层反射膜的基质,反射性掩膜,反射性膜,掩膜空白,掩膜,具有多层反射膜的基质的制造方法,制造反射性掩膜的方法以及制造掩膜状的方法
机译: 带有多层反射膜的掩膜基质反射型掩膜的基质掩膜基质的制造方法以及具有多层反射膜的基质的制造方法及其制造方法
机译: 带有多层反射膜的掩膜基质反射型掩膜的基质掩膜基质的制造方法以及具有多层反射膜的基质的制造方法及其制造方法