公开/公告号CN215845718U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-02-18
原文格式PDF
申请/专利权人 西安空天机电智能制造有限公司;
申请/专利号CN202121829666.X
申请日2021-08-06
分类号B22F12/00(20210101);B22F10/28(20210101);B22F12/17(20210101);B22F12/30(20210101);B33Y30/00(20150101);
代理机构44242 深圳市精英专利事务所;
代理人巫苑明
地址 710000 陕西省西安市国家民用航天产业基地航创路1123号慧谷创新园B座西三楼303室
入库时间 2022-08-23 04:57:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-16
专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):B22F12/00 专利号:ZL202121829666X 登记号:Y2022610000553 登记生效日:20220901 出质人:西安空天机电智能制造有限公司 质权人:西安创新融资担保有限公司 实用新型名称:一种用于电子束快速成形设备的基板保温装置 申请日:20210806 授权公告日:20220218
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
机译: 一种制备用于电子束的偏转孔径矩阵的方法-曝光装置,湿法蚀刻工艺以及-用于制造孔径矩阵和电子束的设备-具有该孔径矩阵的照明装置
机译: 一种用于电子束类型的邻近曝光装置中的用于调节电子束的方法和设备。
机译: 一种用于在真空沉积工艺中保持基板的设备,一种用于在基板上沉积层的系统以及一种用于保持基板的方法。