一种用于常压外延工艺的尾气处理结构

摘要

本实用新型公开了一种用于常压外延工艺的尾气处理结构，包括尾气传输管路、尾气处理设备、排气管路；尾气传输管路将尾气输入尾气处理设备内；排气管路将尾气处理设备处理后的尾气排放至厂务端排气主管路；排气管路包括依次联通的进气段、输送段、排气段，输送段的进气端在竖直方向高于所述输送段的出气端。本实用新型通过设置排气管路的输送段的进气端在竖直方向高于出气端，有利于减少喷淋洗涤塔排气孔附近的悬浮冷凝水滴，有利于反应腔室内压力的稳定性。通过设置排液结构，有利于排气管路内冷凝水的及时排出，同时，也有利于减少向厂务端排气主管路内排放的水汽成分的量，降低了厂务端排气系统的处理负担。