用于平板显示器的相移掩模坯件和光掩模

摘要

为了制造大面积平板显示器（FPD），使用包含至少两个膜的多层型的层或连续层来形成相移层，该膜含有金属和轻元素，例如氮（N）、氧（O）和碳（C）。该多层型的层或连续层是通过在透明衬底上堆叠具有不同组成和不同蚀刻速率的至少两个膜来形成。因此，该相移层的厚度可以减小，并且边缘部分的截面的斜坡可以在该相移层的图案化过程中陡峭地形成，使得相移层图案之间的边界可以是清晰的。结果是，可以确保该相移层的均匀性，因此可以制造出具有更精细图案的大面积FPD产品。