公开/公告号CN215394564U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-01-04
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市易天自动化设备股份有限公司;
申请/专利号CN202121314635.0
申请日2021-06-15
分类号B24B37/34(20120101);B24B37/30(20120101);B24B37/10(20120101);B24B27/00(20060101);B24B55/00(20060101);B08B3/02(20060101);B08B11/04(20060101);
代理机构
代理人
地址 518104 广东省深圳市宝安区沙井街道大王山社区西部工业区第一幢
入库时间 2022-08-23 02:46:30
机译: 一种用于清洁在OLED装置中使用的真空系统的方法,一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的方法以及一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在制造OLED器件的基板上真空沉积的装置