法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-11-18
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N21/31 专利号:ZL2020229014840 申请日:20201206 授权公告日:20210622
专利权的终止
机译: 镜组,特别是用于微型投影仪的镜组,包括使用MEMS技术制成的微镜
机译: MEMS扫描微镜和双轴电磁MEMS扫描微镜器件
机译: 例如在光敏器件中使用的基于裸眼的衍射光调制器。光学存储器,具有上微镜,该上微镜在中心包括开孔,因此它根据上微镜和下微镜之间的高度差反射/衍射入射光