一种STM探针针尖制备装置的探针往复推动机构

摘要

本实用新型公开了一种STM探针针尖制备装置的探针往复推动机构，包括：底座；伸缩机构本体，所述伸缩机构本体固定连接在底座上，伸缩机构本体上设有螺纹孔；丝杆，所述丝杆与螺纹孔相匹配，丝杆螺纹连接在螺纹孔上，丝杆右端与探针夹持座连接；正多边形杆，所述正多边形杆固定连接在丝杆右端；步进电机，所述步进电机固定连接底座上，步进电机位于伸缩机构本体右侧，步进电机的转轴上开有于正多边形杆相匹配的正多边形孔，正多边形杆插入正多边形孔中，步进电机与控制器电连接。以解决现有技术不能同时满足高精度和低速下运行的要求，达不到探针针尖制作时条件的问题。