一种基于智能控制系统的晶圆传送视频监控装置

摘要

本实用新型公开了一种基于智能控制系统的晶圆传送视频监控装置，用于监控半导体装备的晶圆传送，包括底板、固定座、镜头和传感器，所述底板内部的两侧均贯穿有固定螺栓，所述底板顶端的中间位置处安装有固定座，所述镜头的外表面安装有安装环，所述安装环的两端均安装有安装块。本实用新型通过设置有升降结构，当该装置在使用时，通过镜头对晶圆传送的状态进行检测，然后将数据传送到传感器的内部，再通过单片机将数据传送到数据终端，为了能方便检测，可以接通伺服电机得外接电源，伺服电机带动齿轮进行旋转，从而使其表面上得齿条带动顶板上下升降，从而对传感器的高度进行调节，使其对不同的高度方位进行检测。