晶圆制造中的在制品专人化传送系统的设计与研究

摘要

全球经济一体化的持续发展,半导体行业竞争日趋激烈,为使企业在竞争中占据有利地位,作为晶圆制造工厂,在产品交货周期,快速交货等方面有着不断提高的要求,如何不断提高交货速度和缩短交货周期就成为了摆在我们面前的必要课题。
　　本文通过对于晶圆制造中的在制品专人化传送系统建立的设计和研究,着眼于产品交货周期中的在制品传送时间的缩短,依据工厂物理学为主要理论基础,以管理学中的专人化分工为主要实施原则,结合RFID手环技术,E-rack电子货架技术,专业的配套管理报表等策略应用,成功建立专人化传送系统,并验证了可以透过专人化传送团队来替代原来的单独个体传送行为,对在制品的传送行为进行统一系统管理,有效的降低了在制品传送时间并缩短了产品生产周期。本次系统建立的过程中,也应用了模拟仿真软件Flexsim进行评估和验证,实验仿真结果表明,该方案可行并有效。
　　最终,系统实施应用后,产品生产周期降低了约16％,进一步证明了专人化在制品传送系统的建立对于缩短产品生产周期是一种有效的方法,对于企业提升其产品交期方面的竞争力具有重要意义。

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第一章 绪论

1.1课题的来源

1.2课题研究的意义

1.3晶圆制造中的在制品传送的现状

1.4研究的方法

1.5研究内容和章节安排

第二章 相关理论基础

2.1 基于变异性腐蚀理论和VUT方程

2.2 专业化分工理论

2.3 集中式储存与分散式储存理论

2.4 颜色管理理论

2.5 本章小结

第三章 系统建立过程概述

3.1 E-rack电子货架的硬件设施建立

3.2 RFID技术应用

3.3 电子手环应用

3.4传送路径的建立

3.5 专人化传送团队的建立

3.6目的地信息交互系统建立

3.7 人员管理和关怀

3.8 E-rack电子货架管理系统建立

3.9 实时KPI监控系统的建立

3.10 本章小结

第四章 系统建立过程中的应对策略分析

4.1 案例背景分析

4.2 相关KPI参数定义

4.3最佳传送点定位模型

4.4 人力配置模型

4.5 替补班别管理制度分析

4.6 在制品派工机制分析

4.7 传送优先级设定机制分析

4.8 本章小结

第五章 系统的仿真实例与分析

5.1 Flexsim仿真软件介绍

5.2 应用背景分析

5.3 仿真模型的建立

5.4仿真结果验证与分析

5.5 本章小结

第六章 总结与展望

6.1 总结

6.2 本文的不足及展望

参考文献

致谢

攻读硕士学位期间发表的学术论文