公开/公告号CN212570954U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-02-19
原文格式PDF
申请/专利权人 泉芯集成电路制造(济南)有限公司;
申请/专利号CN202021938618.X
发明设计人 温智中;
申请日2020-09-07
分类号H01L21/677(20060101);
代理机构11463 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张磊
地址 250000 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
入库时间 2022-08-22 19:48:35
机译: 晶圆传送机器人,晶圆处理系统以及使用该机器人的晶圆传送方法
机译: 晶圆传送装置,晶圆传送装置的晶圆座检测方法以及抛光单元
机译: 晶圆对准设备,以及使用该晶圆对准设备的晶圆传送设备