一种三轴压阻式加速度计

摘要

一种三轴压阻式加速度计，包括支撑边框、质量块，以及弹性悬臂梁，所述质量块通过所述弹性悬臂梁悬于所述支撑边框的中心位置，位于所述支撑边框与所述质量块之间的所述弹性悬臂梁上对称分布有多个阻值相等的应变压敏电阻，所述支撑边框的四个内角分别设有限位模块，所述限位模块与相邻的所述弹性悬臂梁和所述质量块之间形成有X向以及Y向的抗过载间隙，所述支撑边框的上下两侧分别设有上盖板与上盖板，所述质量块与所述下盖板以及所述上盖板之间形成有Z向的抗过载间隙。本实用新型具有更高的灵敏度、准确性、刚性，有助于质量块的复位，减少了系统误差，提高了测量精度，降低了加速度计的轴间耦合。