一种水平等离子清洗刻蚀箱体

摘要

本实用新型公开了一种水平等离子清洗刻蚀箱体，本实用新型的水平等离子清洗刻蚀箱体通过对电极板的修改，减小了极板表面积，提高了电能利用率，未通透的隔断式处理，保证了电极板表面的平整度，保证了极板与极板的间距，以及极板与产品的间距，通透槽提高了离子体在箱体内的流动，有利于离子体对产品残胶的轰击，有效缩短了产品处理时间，提高了产品处理速率，外部稳流水分流装置，有效调节了各极板的水流速率与水流大小，使各极板来水一致，保证了极板温度的差异，一体式物料架可一次性将物料托盘整体拉出，节省了取放产品的时间，提高了工作效率。