一种等离子清洗刻蚀箱体

摘要

本实用新型公开了一种等离子清洗刻蚀箱体，包括箱体，本实用新型通过电极板、匀水分流机构的配合，保证了电极板内水量一致，进而使箱体内极板各处温度差异最小化，有利于工艺气体的充分电离，通透性的电极板，保证了电离气体在箱体内的充分流动性，加快了产品处理效率，将电极板整体固定于箱体内，在日后维护时可快速更换整套电极板，提高了工作效率。