一种用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台

摘要

本实用新型涉及电子显微镜技术领域，具体地说，涉及一种用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台，包括基台，基台的底部设置有底座，基台的顶部表面开设有若干方孔，方孔内设置有样品台，基台的一侧紧密焊接有固定板，基台的外壁靠近每个样品台处安装有锁紧机构，样品台包括平台，平台的底部安装有活动柱，活动柱的底部设置有固定管，固定管的一侧外壁竖直开设有条形孔。该用于聚焦离子束双束电子显微镜的多样品试样载台能够一次性搭载多个样品，并且每个样品位置可以单独调整水平高度，当不同样品的尺寸大小相差较大时，通过调节每个样品台的高度能够使得样品的上表面保持一致，调节到一定的高度后，还可通过锁紧机构进行锁紧固定。