聚焦离子束技术制备与样品表面平行的TEM样品

摘要

制备目标材料的高质量TEM样品对TEM测试表征和结果分析具有决定性作用.聚焦离子束(FIB)技术由于其微观定位选区制样的优势在TEM样品制备上已有一定应用.本文介绍了FIB/SEM双束系统制备与样品表面平行的TEM样品的方法(“V-cut”),并与传统的FIB制备TEM样品的方法(“U-cut”)进行比较,分析了该方法对实现某些特殊研究目的的独特性和适用性.