基于MEMS结构的线性电容式微波功率传感器

摘要

本发明公开了一种基于MEMS结构的线性电容式微波功率传感器，包括衬底、在衬底上依次排列设置的悬臂梁锚区、微带线、传感电极，以及设置在微带线上方的不规则形状悬臂梁，悬臂梁的一端与悬臂梁锚区连接，另一端对应悬空在感应电极的上方。本发明利用悬空于微带线上方的悬臂梁感应微波功率并产生弯曲，通过悬臂梁与感应电极接触形成的电容大小实现微波功率的测量。同时，本发明通过采用不规则的悬臂梁形状以及悬臂梁的自由端与感应电极之间接触的“拉链式”运动，实现接触电容值与微波功率之间线性化的输出。本发明实现了线性化输出，降低了对后续处理电路和标定测试要求，拓展了传感器的应用范围。