基于LabVIEW的MEMS电容式压力传感器测试系统设计

摘要

设计基于LabVIEW的MEMS电容式压力传感器测试系统,包括压力产生和自动控制装置部分及电容数据采集存储部分。采用NI myDAQ、标准压力传感器和高频电磁阀,结合LabVIEW的PID工具包实现压力自动控制。通过GPIB协议和MySQL数据库实现与阻抗分析仪通信和数据存储。实验结果表明,该系统满足测试需求,为传感器的制作和性能评价提供有力参考,降低了传感器测试的复杂程度,具有很高的实用价值。