用于光罩检测的辅助载板

摘要

本实用新型实施例提供一种用于光罩检测的辅助载板，所述辅助载板上开设有用于容置待检测光罩的容纳槽，容纳槽的内侧壁的预定位置朝容纳槽的中部延伸预定长度而形成有至少两根承载条，每根承载条上设置有至少两级自承载条的自由端向承载条的根部逐级升高的定位台阶，每一级定位台阶均包括一个承载面和两个相互正交且均垂直于承载面的定位面，分属于不同承载条上的同一级的定位台阶共同配合形成一个定位结构，同一个定位结构的各承载面位于同一平面上且各定位面分别对应位于一个长方体的四个侧面上，每一个定位结构的定位台阶的高度均小于或等于相适配尺寸规格的待检测光罩的厚度。本实施例方便厚度较小的光罩检测，避免检测时显微镜的镜头被撞坏。