用于半导体扩散工艺的扩散气体的供应装置及扩散设备

摘要

本公开涉及一种用于半导体扩散工艺的扩散气体的供应装置及扩散设备。该供应装置包括源瓶、载气管、扩散气体管、液位传感器和控制器。该源瓶容纳有呈液态的扩散物。该载气管被适配为运送载气进入该扩散物中，以形成携带有该扩散物的该扩散气体。该扩散气体管被适配为将该扩散气体运送至与该供应装置耦合的扩散炉。该液位传感器被适配为检测该源瓶中的该扩散物的液位高度。该控制器耦合至该液位传感器并且被适配为基于该液位高度调节该载气管中的载气流量或该源瓶中的该扩散物的液位高度。根据本公开的实施例，可以提升扩散后的方阻均匀性，从而使太阳能电池的整体性能更稳定。