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浅谈扩散工艺在半导体生产中的应用

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摘要

扩散工艺是制作半导体的关键结构PN结的一种常用方法.本文在介绍了扩散的定义、扩散工艺在半导体生产过程中的作用原理和应用范围的基础上,从扩散工艺的工艺流程,扩散工艺在PN结形成中的作用,在半导体生产中扩散工艺方法以及扩散工艺的发展四个方面,探究了扩散工艺在半导体生产中的应用.

著录项

来源
《电子制作》 |2017年第15期|60-61|共2页
作者
李如东;
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作者单位

深圳方正微电子有限公司;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
半导体; 扩散工艺; PN结; 恒定源扩散; 限定源扩散; 扩散电阻; 分凝效应;

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