超高真空原位微型薄膜与电极生长系统

摘要

本实用新型公开了一种超高真空原位微型薄膜与电极生长系统，包括超高超高真空腔体部和样品传递系统，所述样品传递系统包括第一传样杆和第二传样杆，所述第一传样杆和所述第二传样杆分别位于所述超高真空腔体部的侧端并且分别与超高真空腔体部刀口法兰密封连接；所述样品制备机构包括样品台和位置调节机构，所述样品制备机构位于所述超高真空腔体部的上端并且部分内嵌于所述超高真空腔体部，所述样品制备机构与所述超高真空腔体部通过刀口法兰密封连接。本实用新型公开的一种超高真空原位微型薄膜与电极生长系统，其可以通过在超高真空内原位薄膜生长和电极生长制作微型复杂图案的输运测试样品。