一种基于石墨烯压阻效应的压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种基于石墨烯压阻效应的压力传感器，包括高阻硅衬底，高阻硅衬底上方设有二氧化硅氧化层，二氧化硅氧化层中部刻蚀正三棱柱空腔，空腔上覆盖三角形石墨烯薄膜，石墨烯薄膜层数为1到3层，在正三棱柱顶面边长两端点处刻蚀金属电极。当石墨烯薄膜受到应力或薄膜内外有气压差时，石墨烯发生形变，根据石墨烯压阻效应，电阻发生变化，通过检测石墨烯电阻，从而实现压力或气压差的检测。该系统结构新颖，可应用于山体缝隙等体积较小的复杂环境，测量幅度范围大，具有较高稳定性和极高灵敏度，尺寸小，易于集成，适用范围广。