一种多级可调的椭偏测厚仪

摘要

一种多级可调的椭偏测厚仪，包括底座、试验台、激光器套筒、激光器、起偏器和检偏器，底座上设置试验台，试验台的一端开设两道平行的滑槽，激光器套筒的下部为固定座，上部为圆柱套筒，激光器套筒的固定座两侧开设螺纹孔，激光器套筒通过螺钉连接在试验台的滑槽上，试验台与激光器套筒的固定座之间垫有橡胶垫圈，激光器固定在激光器套筒上部的圆柱套筒内，激光器的出光口设置有光栅，光栅的出光一侧设有补偿器，本实用新型的起偏器的入射角度可通过齿轮组合调节，检偏器通过可旋转的立板和顶板调节角度，使得检偏器不仅可以平行于起偏器，检测播磨边缘部分的厚度，还可以垂直于起偏器，反射式测量法检测播磨的情况。