首页> 中文会议>四川省电子学会电子测量与仪器专委会第十八届电子测试与测量技术专题学术年会 >椭偏仪的自校准和测量不确定度分析

椭偏仪的自校准和测量不确定度分析

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

为保证微机电系统(MEMS)工艺制作过程中薄膜厚度测量的准确、可靠,依据《GJB/J5463-2005光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程》、《GJB1317A-2006军用检定规程和校准规程编写通用要求》等技术文件编制"椭偏仪自校准规程".依据规程对SE500椭偏仪、SpecEI-2000椭偏仪的外观及工作正常性、薄膜厚度最大误差等技术要求进行校准,对整个校准过程测量不确定度进行评估,确定测量结果可信,量值准确,测量过程处于受控状态.

著录项

来源
《四川省电子学会电子测量与仪器专委会第十八届电子测试与测量技术专题学术年会》|2017年|140-146|共7页
会议地点昆明
作者
张莉; 王斌;
展开▼
作者单位

四川省电子学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH74:TH706;
关键词
椭偏仪; 薄膜厚度; 自校准规程; 测量不确定度;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 一种新型椭偏测量实验 --塞曼激光外差椭偏仪 [J] . 邓元龙 ,孙秀泉 ,吴玉斌 . 物理通报 . 2005,第010期
2. 椭偏仪的测量研究和误差分析 [J] . 张宏琴 ,王海燕 . 大学物理实验 . 2009,第002期
3. 马赫-曾德尔外差干涉椭偏仪非线性误差分析 [J] . 刘洪冰 ,李玉栋 ,崔国新 . 激光技术 . 2009,第003期
4. 椭偏测厚仪确定薄膜真实厚度的分析 [J] . 张俊莲 ,黄佐华 ,朱映彬 . 大学物理 . 2008,第001期
5. 各向异性材料自动椭偏测试仪误差分析 [J] . 李洋 ,唐宁 ,姚熹 . 仪器仪表用户 . 2003,第006期
6. 薄膜表面的污损对椭偏仪实验的影响 [C] . 李思蒙 ,刘牧青 ,郑康成 . 2013年全国高等学校物理基础课程教育学术研讨会 . 2013
7. 基于穆勒矩阵椭偏仪的OLED薄膜光学特性表征研究 [A] . 牛茂刚 . 2018

椭偏仪的自校准和测量不确定度分析

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅