一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法

摘要

本发明涉及一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法，所述椭偏仪的一实施方式包括：激光器发出激光，激光由声光调制器进行调制之后进入第一会聚透镜，第一会聚透镜将激光聚焦后，激光由准直透镜准直成平行光进入贝塞尔光束转换器；贝塞尔光束转换器将激光转换为贝塞尔光束之后送入起偏器，起偏器出射的线偏振贝塞尔光束透过第一半透半反镜并经过高数值孔径透镜照射在待检测物品；待检测物品反射的激光经过高数值孔径透镜后由第一半透半反镜反射到第二半透半反镜，激光透过第二半透半反镜之后进入检偏器，检偏器出射的激光照射到第一感光单元；第一感光单元获取激光光强以确定椭偏参数信息。该实施方式能够并行探测不同反射角、方位角的偏振特性。