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薄膜表面的污损对椭偏仪实验的影响

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本文应用椭偏仪对SiO2标准薄膜的厚度和折射率进行测量,研究了油污、划痕、摩擦这三种因素对薄膜厚度和折射率测量的影响,分析了薄膜表面的污损情况对测量的影响机制,并探讨了避免此类误差的方法.

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来源
《2013年全国高等学校物理基础课程教育学术研讨会》|2013年|264-266|共3页
会议地点太原
作者
李思蒙; 刘牧青; 郑康成; 杜艾; 张志华; 方恺;
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作者单位

中国物理学会;

教育部;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 O484.41;
关键词
薄膜; 表面污损; 光学性质; 椭偏仪实验;
入库时间 2022-08-17 10:40:19

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