大口径光学元件损伤在线检测装置

摘要

一种大口径光学元件损伤在线检测装置，包括照明光路、损伤信号接收光路、扫描系统和图像处理系统，其特点是：采用激光照明光路，由激光光源、照明平行光管和分光镜构成；所述的损伤信号接收光路上依此设置有分光镜、接收平行光管，在接收平行光管之后同时接设有观察目镜和CCD摄像机；激光照明光路的光轴与损伤信号接收光路的光轴相互垂直，且均与分光镜的表面成45°，通过分光镜后激光照明光路和损伤信号接收光路共光轴；扫描系统由第一扫描反射镜和第二扫描反射镜组成；所述的CCD摄像机和计算机组成图像处理系统。本发明的优点是操作简单、检测效率高、检测可靠性高，既可目视观测，又可用CCD摄像机采集图像，可以准确地得出损伤点的尺寸和位置。